在材料生產檢測*域中，
激光共聚焦顯微鏡可以實現對器件表面形貌的3D測量。
中圖儀器VT6000激光共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，是*款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米*測量的檢測儀器。
產品功能
1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；
2)設備具備自動拼接功能，能夠快速實現大區域的拼接縫合測量；
3)設備具備*體化操作的測量與分析軟件，預*設置好配置參數再進行測量，軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能；
4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；
5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6)設備具備*鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現批量數據文件的快速分析功能；
技術指標
型號 VT6100
行程范圍
X 100mm
Y 100mm
Z 100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量 50kg
測量原理 共聚焦光學系統
顯微物鏡 10×;20×;50×;100×
視場范圍 120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量
重復性(1σ) 12nm
精度 ± (0.2+L/100) μm
顯示分辨率 0.5nm
寬度測量
重復性(1σ) 40nm
精度 ± 2%
顯示分辨率 1nm
XY位移平臺 負載 10kg
控制方式 電動
Z0軸掃描范圍 10mm
物鏡塔臺 5孔電動
光源 白光LED
在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高。擅長微納*粗糙輪廓的檢測，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。
應用*域
對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
自設計之初，VT6000激光共聚焦顯微鏡便定下了“簡單好用"四字方針的目標。
1）結構簡單：儀器整體由*臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內，亦可采用筆記本電腦驅動，實現了“拎著走"的便攜式設計；
2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現；
3）操作便捷：采用全電動化設計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格，實現了所見即所得的快速檢測效果；
4）采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。
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