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光學3d表面輪廓測量儀

產品/服務：
品牌：	中圖儀器
有效期至：	長期有效
最后更新：	2024-12-09 22:28

單價：

面議

最小起訂量：

1 臺

供貨總量：

99 臺

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公司基本資料信息

詳細說明
規格參數

中圖儀器光學3d表面輪廓測量儀SuperViewW1是以白光干涉技術原理，對各種精密器件表面進行納米*測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等*域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米*別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

性能參數

型號 W1

光源白光LED

影像系統 1024×1024

干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學ZOOM

標配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標準視場 0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學ZOOM 0.5×）

XY位移平臺

尺寸

320×200㎜

移動范圍 140×100㎜

負載 10kg

控制方式電動

Z軸聚焦行程 100㎜

控制方式電動

形貌重復性 0.1nm

粗糙度RMS重復性 0.005nm

臺階測量

準確度:0.3%;重復性:0.08%(1σ)

可測樣品反射率 0.05%~100%

主機尺寸 700×606×920㎜

產品功能

1）光學3d表面輪廓測量儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供*鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

光學3d表面輪廓測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

結果組成：

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

主要應用*域：

1、用于太陽能電池測量；

2、用于半導體晶圓測量；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；

4、用于機械部件的計量；