中圖儀器光學3d表面輪廓測量儀SuperViewW1是以白光干涉技術原理，對各種精密器件表面進行納米*測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等*域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米*別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
性能參數
型號 W1
光源 白光LED
影像系統 1024×1024
干涉物鏡
標配:10×
選配:2.5×、5×、20×、50×、100×
光學ZOOM
標配:0.5×
選配:0.375×、0.75×、1×
標準視場 0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學ZOOM 0.5×）
XY位移平臺
尺寸
320×200㎜
移動范圍 140×100㎜
負載 10kg
控制方式 電動
Z軸聚焦 行程 100㎜
控制方式 電動
形貌重復性 0.1nm
粗糙度RMS重復性 0.005nm
臺階測量
準確度:0.3%;重復性:0.08%(1σ)
可測樣品反射率 0.05%~100%
主機尺寸 700×606×920㎜
產品功能
1）光學3d表面輪廓測量儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；
3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時提供*鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
光學3d表面輪廓測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。
結果組成：
1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；
3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；
6、微電子表面分析和MEMS表征。
主要應用*域：
1、用于太陽能電池測量；
2、用于半導體晶圓測量；
3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；
4、用于機械部件的計量；
5、用于塑料，金屬和其他復合型材料工件的測量。
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